钟摆阀
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气动式钟摆阀(单动)
气动式钟摆阀(单动)
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材质 |
本体 |
A6061-T6 |
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闸板 |
A6061-T6 |
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开关寿命 |
200,000 次 |
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氦气泄漏率 (一大气压压差) |
本体,铝合金 |
＜1×10-9 mbar .l /sec |
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本体,铝合金,超硬阳极处理 |
＜1×10-5 mbar .l /sec |
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烘烤温度 |
本体 |
≤ 120 ℃ |
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驱动器 |
≤ 80 ℃ |
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电磁阀 |
≤ 50 ℃ |
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压力范围 |
铝合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
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铝合金,超硬阳极处理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
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最大压差 |
1.2 bar |
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开启前最大压差 |
≤ 5 mbar |
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压缩空气压力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
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本体泄压时间 (秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
ISO 400 |
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0.9 |
1.0 |
1.1 |
2 |
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闸板位移时间 开 à 关 (秒) |
2.0 |
2.0 |
2.0 |
3.5 |
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闸板位移时间 关 à 开 (秒) |
1.0 |
1.0 |
1.0 |
3 |
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密封圈材质 |
闸板 |
Viton O-ring |
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阀盖 |
Viton O-ring |
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联通轴 |
Viton O-ring |
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联通轴 |
旋转联通轴 |
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驱动器 |
电动气缸 (常闭) |
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位置指示器 |
簧片传感器 |
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重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
ISO 400 |
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21Kg |
31Kg |
51Kg |
70 Kg |
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安装方向 |
水平或垂直 |
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选配 |
ISO 200 ~ 320 |
a. 其他密封圈材质 b. 加热器 |
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ISO 400 |
a. 其他密封圈材质 |
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控制器外部接线
- [注意] 建议使用 24AWG 电线
气动钟摆阀(Pendulum Valve)主要应用在制程真空室和涡轮分子泵入口之间安装一个大的节流阀。Htc日扬真空钟摆阀表面处理设计结构有素材面或阳极硬膜构成，具有耐腐蚀，灰尘少的特点。它可用于ISO200,ISO250,ISO320法兰, 尺寸为8",10", 12"的ISO阀门, 其作动方式有气动和APC模式两种。此阀门为一般的闸阀(Gate Valve)或是钟摆阀(Pendulum Valve)之类的设计, 产品应用在OLED, FPD, and PV工业制作系统。
