真空阀门
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保固条件
- 自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准
- 操作环境限于空气, 惰性气体及真空
- 因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内
有任何相关真空需求或问题，欢迎联系我们，Htc日扬真空乐意为您提供解决方案。
真空阀门的种类有角阀、挡板阀、闸阀、球阀、逆止阀、蝶阀...等，操作方式通常会有手动、气动及电动三种。这些真空阀门会依其功能性质的不同，分别被使用于粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空环境。
真空阀门广泛应用于光电半导体精密制程、先进之TFT-LCD、薄膜太阳能、太阳能电池制程高真空腔体基本构造。
特殊规格真空阀门的客制或订制，欢迎来函ec@high-light.com.tw洽询。
真空阀门规格
- 阀门本体: 304 S.S. (Other material available upon request)
- 阀芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
- 波纹管: Welded AM-350 (option)
- 电磁阀: Option
- 位置指示器: Option
- 密封件: Viton Oring
- 泄漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
- 压力范围: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
- 打开前的最大压力: 1.2 bar
- 打开气压: 4~6.5 kg/cm2
- 作动寿命:
Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 150~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation
200 to larger~application dependent - 烘烤温度范围:
阀本体 O形环密封 Oring bonnet seal 开 Open ≤ 100℃ 关 Close ≤ 100℃ 金属密封 Metal bonnet seal 开 Open ≤ 200℃ 关 Close ≤ 150℃ 手动和气动 Manual and pneumatic actuator ≤ 80℃ - 大型或特殊尺寸的真空阀门可依需求订制
