不锈钢成形波纹管封止阀门

真空阀门的种类有角阀、挡板阀、闸阀、球阀、逆止阀、蝶阀...等，操作方式通常会有手动、气动及电动三种。这些真空阀门会依其功能性质的不同，分别被使用于粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空环境。

真空阀门广泛应用于光电半导体精密制程、先进之TFT-LCD、薄膜太阳能、太阳能电池制程高真空腔体基本构造。

特殊规格真空阀门的客制或订制，欢迎来函ec@high-light.com.tw洽询。

真空阀门规格

• 阀门本体: 304 S.S. (Other material available upon request)
• 阀芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
• 波纹管: Welded AM-350 (option)
• 电磁阀: Option
• 位置指示器: Option
• 密封件: Viton Oring
• 泄漏率: 2x10^-9 mbar.l/sec
• 压力范围: 1x10^-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
• 打开前的最大压力: 1.2 bar
• 打开气压: 4~6.5 kg/cm²
• 作动寿命:
  Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000  ;  200 to 250~80,000
  No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 250~100,000 (Depend on Oring condition) 
  No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation 
  
  
• 烘烤温度范围:
  

  阀本体	O形环密封 Oring bonnet seal	开 Open ≤ 100℃
  		关 Close ≤ 100℃
  	金属密封 Metal bonnet seal	开 Open ≤ 200℃
  		关 Close ≤ 150℃
  	手动和气动 Manual and pneumatic actuator	≤ 80℃

• 大型或特殊尺寸的真空阀门可依需求订制