真空引入
※ 请选取产品分类项 ※
磁流体密封装置
法兰实心轴磁性轴封
前端螺纹实心轴磁性流体轴封
_Non_Flange_Ferrofluid-Feedthrough.gif)
单轴无法兰磁性流体轴封
螺帽夹紧型磁性流体轴封
半导体设备用磁性流体密封转轴
半导体设备用磁性流体密封转轴附冷却水路
空心型磁性流体轴封
空心型含法兰磁性流体轴封
空心型带法兰磁性流体轴封附冷却水路
Htc日扬真空提供优质磁流体密封装置为单晶矽炉、镀膜设备、化学气相沉积、液晶再生、电子指示器、热处理炉等超高真空系统及对环境要求较高的设备使用.
从低速到高速-低压到高压, 均能满足各种设备作业上需求.
真空度: 10-6Pa
泄漏率: 10-12Pa·m3/sec
真空引入通常分为三大类别: 分别为电引入(electrical feedthrough), 机械引入(mechanical feedthrough), 流体引入(fluid feedthrough)电引入的基本要求是电绝缘与真空封合。依照用途不同，常用的绝缘材料包含玻璃、塑胶、与陶瓷，而真空封合的好坏则极度依赖电极与绝缘材间的封合技术。金属与玻璃的接合常见于真空计， 陶瓷金属的接合则广用于高电压的场合。
