真空电引入
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磁流体密封装置
法兰实心轴磁性轴封
前端螺纹实心轴磁性流体轴封
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单轴无法兰磁性流体轴封
螺帽夹紧型磁性流体轴封
半导体设备用磁性流体密封转轴
半导体设备用磁性流体密封转轴附冷却水路
空心型磁性流体轴封
空心型含法兰磁性流体轴封
空心型带法兰磁性流体轴封附冷却水路
Htc日扬真空提供优质磁流体密封装置为单晶矽炉、镀膜设备、化学气相沉积、液晶再生、电子指示器、热处理炉等超高真空系统及对环境要求较高的设备使用.
从低速到高速-低压到高压, 均能满足各种设备作业上需求.
真空度: 10-6Pa
泄漏率: 10-12Pa·m3/sec
真空电引入通常分为三大类别: 分别为电引入(electrical feedthrough), 机械引入(mechanical feedthrough), 流体引入(fluid feedthrough), 真空电引入的基本要求是电绝缘与真空封合。依照真空设备用途不同，常用的绝缘材料包含玻璃、塑料、与陶瓷，而真空封合的好坏则极度依赖电极与绝缘材间的封合技术。金属与玻璃的接合常见于真空计， 陶瓷金属的接合则广用于高电压的场合。
用于真空系统的设备中能缩短制造真空产品设备时程，可有效防止怼灵活弹性的配合度依不同真空元作尺寸及环境需求设计制造。
为了提供更好的服务，Htc日扬真空可依客户规格需求制作真空电引入，举凡电流、电压、PIN脚数目、法兰尺寸等都可客制化，欢迎在线询问联络我们。
