APC バターフライバルブ

APC バターフライバルブの製品紹介ビデオ

APC バターフライバルブ装置に設置方式

APC バターフライバルブ特徴

• 集積圧力コントローラー
• 正確な圧力制御
• 完全に隔離
• 反反応時間が短い
• 優しいユーザーインターフェイス

主要応用

応用産業

>> SEMI - 半導体 
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池

バターフライ制御システム - APC コントローラー

APC ソフトウェアー性能

APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる

• 制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
• 圧力及び位置制御モード
• スケジュールテストモード=> 1 サイクル スケジュール
• バルブ開/閉速度設定
• APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
• バルブサイクルと実行時間を記録する
• 圧力の公差範囲を設定する
• サイクルライフ及び圧力制御を記録する
• コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
• 停電保護
• 画面キャップチャー
• 圧力ラーリング機能