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バターフライバルブ

Category
Specification

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APC Butterfly Valve for DeviceNET

APC バターフライバルブ-ModBUS通訊

Htc製圧空式バターフライバルブ

3ポジションバターフライバルブ

高真空用バターフライバルブー手動式

Htc-バターフライバルブ-手動式

BV-D Series

BV-N Series

X-Series

MBV-D24 Series

MBV-LD Series

APC Butterfly Valve for DeviceNET

CF TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet

KF TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet

ISO-F TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet

APC バターフライバルブ-DeviceNet通訊装置に設置方式

1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントローラとアクチュエーター
7. リモートコントローラーケーブル
8. 電源ケーブル
9. 真空ポンプ

APC Butterfly Valve for DeviceNET

apc-butterfly-valve-system-settings-devicenet

主要応用

真空圧力制御及び隔離

応用産業

>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池

APC Butterfly valve-DeviceNet

Specifications

>> Sensor supply : 24V DC or ±15V DC
>> Backup power : Yes
>> Sensor input
---->> Q'ty of sensors : 2 pcs
---->> Vacuum gauge: Linear / Exponent

>> Control accuracy : 0.1% of maximum sensor range
>> DeviceNet specification Volume 1, Release 2.0 & Volume II, Release 2.0.
>> Manual configuration facilitated by use of specific EDS files
>> Position resolution：8000 (step 0-90° rotation)
>> Ambient temperature: ≦70°C max(Controller part -24HR)
>> The valve can be controlled by a host (local) via RS232; For initial adjustment.

APC software functions for DeviceNet

APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる

制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
圧力及び位置制御モード
スケジュールテストモード=> 1 サイクルスケジュール
バルブ開/閉速度設定
APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
バルブサイクルと実行時間を記録する
圧力の公差範囲を設定する
サイクルライフ及び圧力制御を記録する
コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
停電保護
圧力ラーリング機能

APC butterfly valve for DeviceNet specification

Valve unit
Material	Body	304S.S. (*1)
	Plate	304S.S. (*1)
	Shaft	304S.S.
	Gate seal	Viton
	Shaft seal	Viton
Flange	KF、ISO、CF
Mounting position	Any
Cycles until first service	Pressure control	2,000,000
Cycles until first service	Closing / Opening	250,000
Helium leak rate at 1 atm differential	< 1 x 10^-9 mbar．l/sec
Pressure range	1 x 10^-8 mbar to 1.2 bar
Operating temperature	Body	10°C to 110°C
Maximun ΔP during opening	KF25/40/50、CF35	<1.2 bar
	ISO63~100、CF63~100	<0.2 bar
Standard accessories	M12 Single-Ended Cordset, 5 Poles, Female (Straight) to Pigtail by CAN Bus, 1.0 meter in length.*1.(Can optional cable length)

(*1) Body and Plate material can choose aluminum alloy.

Control and actuating unit
Input voltage	+24 VDC	connector: POWER
Power consumption	85W	connector: POWER
Sensor power supply output	+24 VDC /+-15VDC， 500 mA	connector: SENSOR
Analog input
Q’ty of sensors	Independent 2 channel	connector: SENSOR
Input voltage	0-10V DC linear	connector: SENSOR
Resolution	2.3 mV	connector: SENSOR
Input resistance	Ri>=47kΩ	connector: SENSOR
Admissible operating temperature
Controller	≦70 ℃ -24HR
Control accuracy	0.1% of maximum sensor range
Position resolution	8000 (step 0-90^orotation)
Backup power	Yes
KF25,KF40,KF50, CF35
Closing time	<0.3sec
Opening time	<0.3sec
Valve max. torque	15kg-cm
ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100
Closing time	<0.85sec
opening time	<0.85sec
Valve max. torque	30kg-cm

バターフライバルブは常に隔離と流量調整の用途を使用されている。その製品の開閉構造はディスクの板で気流を開閉と調整する。操作方法はボールバルブと似て、迅速に開閉できる。製品の構造簡単で、重量も軽くて、製品の組立も容易である。

Htc vacuum(日揚科技)は各種なバターフライバルブを供給可能である。製品の特長は使用寿命が長いし、高品質と性能が良い。優れた設計構造で長い時間を使用して、修理必要がない。バターフライバルブの駆動方式は手動式、圧空式、自動圧力制御(APC)の3種類がある。修理しなくても可能である。

バターフライバルブを開閉した時、円いディスクの板が本体から飛び出すから、接続相手品の配管内径と干渉する恐れがある。そのため、製品を組合せる前、先ずの配管内径寸法をご確認下さい。