- 真空チャンバー
- UHV超高真空チャンバー
- 真空バルブ
- 真空コンポーネント
-
真空ポンプ
- Edwardsターボ分子ポンプ
- スクロール真空ポンプ
- 中古真空ポンプ
-
EBARA ドライポンプキット
- A07 - EBARA dry pump kits
- A10S - EBARA dry pump kits
- A30 - EBARA dry pump kits
- A70W - EBARA dry pump kits
- A150W - EBARA dry pump kits
- 40.20 - EBARA dry pump kits
- 50.20 - EBARA dry pump kits
- 80.25 - EBARA dry pump kits
- 150.40 - EBARA dry pump kits
- AA10 - EBARA dry pump kits
- AA20 - EBARA dry pump kits
- AA40 - EBARA dry pump kits
- AA200 - EBARA dry pump kits
- サニタリーフィッティング
- パフロロエラストマー(FFKM) Oリング
- オートメーション
バターフライバルブ
※ Please select product classify ※
APC Butterfly Valve for DeviceNET

CF TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet

KF TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet

ISO-F TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet
APC バターフライバルブ-DeviceNet通訊装置に設置方式
1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントローラとアクチュエーター
7. リモートコントローラーケーブル
8. 電源ケーブル
9. 真空ポンプ
APC Butterfly Valve for DeviceNET

主要応用
真空圧力制御及び隔離応用産業
>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池
APC Butterfly valve-DeviceNet
Specifications
>> Sensor supply : 24V DC or ±15V DC
>> Backup power : Yes
>> Sensor input
---->> Q'ty of sensors : 2 pcs
---->> Vacuum gauge: Linear / Exponent
>> Control accuracy : 0.1% of maximum sensor range
>> DeviceNet specification Volume 1, Release 2.0 & Volume II, Release 2.0.
>> Manual configuration facilitated by use of specific EDS files
>> Position resolution:8000 (step 0-90° rotation)
>> Ambient temperature: ≦70°C max(Controller part -24HR)
>> The valve can be controlled by a host (local) via RS232; For initial adjustment.
APC software functions for DeviceNet
APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる
- 制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
- 圧力及び位置制御モード
- スケジュールテストモード=> 1 サイクル スケジュール
- バルブ開/閉速度設定
- APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
- バルブサイクルと実行時間を記録する
- 圧力の公差範囲を設定する
- サイクルライフ及び圧力制御を記録する
- コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
- 停電保護
- 圧力ラーリング機能

APC butterfly valve for DeviceNet specification
Valve unit |
||
Material |
Body |
304S.S. (*1) |
Plate |
304S.S. (*1) |
|
Shaft |
304S.S. |
|
Gate seal |
Viton |
|
Shaft seal |
Viton |
|
Flange |
KF、ISO、CF |
|
Mounting position |
Any |
|
Cycles until first service |
Pressure control |
2,000,000 |
Closing / Opening |
250,000 |
|
Helium leak rate at 1 atm differential |
< 1 x 10-9 mbar.l/sec |
|
Pressure range |
1 x 10-8 mbar to 1.2 bar |
|
Operating temperature |
Body |
10°C to 110°C |
Maximun ΔP during opening |
KF25/40/50、CF35 |
<1.2 bar |
ISO63~100、CF63~100 |
<0.2 bar |
|
Standard accessories |
M12 Single-Ended Cordset, 5 Poles, Female (Straight) to Pigtail by CAN Bus, |

Control and actuating unit |
||
Input voltage | +24 VDC | connector: POWER |
Power consumption | 85W | connector: POWER |
Sensor power supply output | +24 VDC /+-15VDC, 500 mA | connector: SENSOR |
Analog input |
||
Q’ty of sensors | Independent 2 channel | connector: SENSOR |
Input voltage | 0-10V DC linear | connector: SENSOR |
Resolution | 2.3 mV | connector: SENSOR |
Input resistance | Ri>=47kΩ | connector: SENSOR |
Admissible operating temperature |
||
Controller |
≦70 ℃ -24HR |
|
Control accuracy |
0.1% of maximum sensor range |
|
Position resolution |
8000 (step 0-90orotation) |
|
Backup power |
Yes |
|
KF25,KF40,KF50, CF35 |
||
Closing time |
<0.3sec |
|
Opening time |
<0.3sec |
|
Valve max. torque |
15kg-cm |
|
ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100 |
||
Closing time |
<0.85sec |
|
opening time |
<0.85sec |
|
Valve max. torque |
30kg-cm |
バターフライバルブは常に隔離と流量調整の用途を使用されている。その製品の開閉構造はディスクの板で気流を開閉と調整する。操作方法はボールバルブと似て、迅速に開閉できる。製品の構造簡単で、重量も軽くて、製品の組立も容易である。
Htc vacuum(日揚科技)は各種なバターフライバルブを供給可能である。製品の特長は使用寿命が長いし、高品質と性能が良い。優れた設計構造で長い時間を使用して、修理必要がない。バターフライバルブの駆動方式は手動式、圧空式、自動圧力制御(APC)の3種類がある。修理しなくても可能である。
バターフライバルブを開閉した時、円いディスクの板が本体から飛び出すから、接続相手品の配管内径と干渉する恐れがある。そのため、製品を組合せる前、先ずの配管内径寸法をご確認下さい。
