總經理室

負責公司經營管理、股東關係維護、股務管理、專案督導、電子商務發展及相關集團子公司發展管理等，以達成公司經營策略及目標。

稽核室

負責集團內部控制制度、稽核等相關業務之規劃、控制與推廣。

財務處

負責集團整體財務資源佈局、投資籌資評估、節稅規劃、帳務整合、成本結算等，以提供及時有效財務資訊，協助最高主管評估判斷決策之可行性。

行政管理處

負責集團整體行政後勤支援事務之統籌管理，以提供各事業單位及時有效的行政支援，協助建立良好企業文化及制度以達成營運目標。

真空系統事業處

負責監督、控制、統籌公司國內外真空零件市場行銷、零件開發、生產、研發及設備行銷、翻修、維修服務等工作執行，統轄部門包含海外業務部、大中華區業務部、台灣廠、上海廠、研發部。

技術服務事業群

負責統籌技術服務事業處台灣代理或自製之真空泵、射頻產品及各式真空泵及射頻電源產品之技術開發之業務行銷與維修服務等工作執行，統轄業務一部（台灣）、工程一部、工程二部。

自動化設備事業處

負責監督、控制、統籌公司發展之設備及系統產品研發、設計、生產、委外代理、行銷等工作執行，統轄部門包含設備製造部、設備業務部。

節能再生中心

負責監督、控制、統籌公司parts clean、貴金屬回收、平面顯示器之玻璃基板回收洗淨再生工程等工作執行，統轄部門包含台灣及上海二工程中心。